PVD清洗是通过化学或(及)物理的方法将工件上的油污、锈迹、灰尘等去除干净，确保工件获得较好的涂层结合力和生产的顺利进行。清洗是PVD涂层前必不可少的一道工序，也是PVD涂层生产中最重要的工艺，清洗出了问题，涂层生产不得不延迟、涂层过程可能中断、或涂层结合力出现问题而导致客户投诉和赔偿，尤其是在涂层设备的技术能力不高的情况下，清洗出了问题，更容易发生上述风险。

有四个因素影响着清洗的质量，分别为：清洗时间、化学药剂、机械作用以及清洗液温度，这四个因素之间也相互影响，一个因素的减弱，可以通过增强另外三个因素的作用来弥补，反之亦然。在这四个因素中，清洗时间的最小化也是追求的目标，这样可以提高清洗的效率．缩短生产时间和交货周期。

清洗主要方法和步骤应包括：化学药剂喷淋、化学药剂浸泡与超声波清洗、漂洗、烘干。

1)化学药剂喷淋
喷淋对于清洗来说非常有效，它能够清除掉工件上绝大部分油污及污染物。

2)化学药剂浸泡与超声波清洗
超声波是一种频率超出人类听觉范围20 kHz以上的声波。超声波的传播要依靠弹性介质，其传播时,使弹性介质中的粒子振荡,并通过介质按超声波的传播方向传递能量,这种波可分为纵向波和横向波。在固体内,两者都可以传送,而在气体和液体内,只有纵向波可以传送。超声波能够引起质点振动,质点振动的加速度与超声频率的平方成正比。

在纯粹的化学药剂浸泡清洗中，清洗溶液首先溶解工件最表层的污染物，并逐渐向污染层内部渗透溶解，在这个过程中，在工件表层会逐渐形成一层溶解饱和层．这层饱和层将新鲜的化学清洗液与深层的污染物隔离，阻碍清洗液对深层污染物的继续溶解，如果这层饱和层不能被破坏去掉，清洁就停止了。对于比较脏的工件，纯粹的浸泡清洗方式很难将工件彻底清洁干净。利用超声波的“微型刷子”的作用就可以破坏掉表层的溶解饱和层，新的化学药剂到达较深的污染层继续溶解，超声波接着继续破坏掉新形成的溶解饱和层，如此循环，清洁不断进行下去，直到工件被清洁干净。

3)漂洗
漂洗是为了将残留在工件上的清洗液或其他脏物彻底清理干净，使工件在烘干之前更加干净。

4)烘干
清洗完的工件一般放入烤箱中烘干，烤箱包括箱体、排水管路、加热系统、排风系统及温度控制系统。