真空镀膜表面的清洗非常重要，直接影响电镀产品的质量。在进入镀膜室之前，工件必须在电镀前仔细清洗。表面污染来源于加工、运输和包装过程中粘附在工件上的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物质。为了避免加工过程中造成的缺陷，真空镀膜厂家基本上可以通过脱脂或化学清洗的方式去除。清洁处理后的清洁表面不能储存在大气环境中，但应储存在封闭的容器或清洁柜中，以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可以最大限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对水蒸气敏感的高度不稳定表面的真空镀膜处理一般应储存在真空干燥箱中。

清除涂装室内的灰尘，建立清洁的车间，保持室内的高度清洁，是涂装工艺对环境的基本要求。在空气湿度高的区域，除了在电镀前仔细清洁真空室中的基板和零件外，还需要烘烤和脱气。为防止油带入真空室，应注意油扩散泵的回油情况，对加热功率大的扩散泵采取挡油措施。